Bộ môn Vi cơ điện tử và Vi cơ hệ thống

PGS.TS. Chử Đức Trình Chủ nhiệm Bộ môn

PGS.TS. Chử Đức Trình
Chủ nhiệm Bộ môn

Bộ môn MEMS đảm nhận các môn học liên quân đến các hệ vi cơ điện tử và ứng dụng. Bên cạnh công tác giảng dậy và nghiên cứu, bộ môn còn thiết kế, chế tạo và ứng dụng các hệ vi cơ và hệ thông nhúng.

Hướng nghiên cứu chính của bộ môn là:

  • Nghiên cứu thiết kế và tối ưu hoá thiết kế các linh kiện MEMS với tính năng và nguyên lý mới.
  • Nghiên cứu chế tạo trong nước hoặc phối hợp với nước ngoài chế tạo các linh kiện MEMS đã được nhóm nghiên cứu tự thiết kế
  • Nghiên cứu ứng dụng các linh kiện MEMS trong các lĩnh vực sản xuất, y tế và quốc phòng trên cơ sở phối hợp các linh kiện này với sản phẩm mới nhất của Công nghệ Vi điện tử (các bộ vi xử lý, FPGA, DSP, DsPIC…). và các thuật toán xử lý tín hiệu. Các nghiên cứu ứng dụng này có thể tiến hành đồng thời với các nghiên cứu thiết kế và chế tạo nói trên và chia thành 2 giai đoạn: trước hết sử dụng các vật liệu và linh kiên nhập ngoại, sau đó dần thay thế bằng các kinh kiên tự sản xuất.
  • Tiếp cận các hướng nghiên cứu hiện đại của thế giới như MEMS trên cơ sở polymer và các vật liệu mới khác, nano cơ điện tử (NEMS)..v..v.